真空固化爐是一種用于半導(dǎo)體晶圓制造過程中對聚酰亞胺（PSPI)這一種新型工程高分子材料固化的專用設(shè)備，烘箱溫度最高可達450°c 固化爐的工作原理和操作流程：
1、固化爐工作原理
以翅片式散熱器和不銹鋼加熱管為熱源，利用風機對加熱總成對流換氣的方式加熱空氣，通過熱空氣與物料的熱量傳遞，空氣通過進風口不斷補充，濕空氣排出箱外，使爐內(nèi)的溫度不斷提高，模具逐漸預(yù)熱。 操作程序。
2、固化爐開機前準備
?、賺徫徊僮魅藛T開機前首先必須熟悉本機的結(jié)構(gòu)性能、工作原理、調(diào)整方法、操作方法及保養(yǎng)知識。
②檢查設(shè)備的狀態(tài)標志及衛(wèi)生清潔狀況。
?、蹤z查電器系統(tǒng)是否完好，電動機是有無受潮漏電。
3、固化爐操作過程
?、偈紫葘⑴_車及爐內(nèi)部清洗干凈。
?、诖蜷_供電設(shè)備電源開關(guān)、打開設(shè)備“電源開關(guān)”按鈕(鑰匙旋鈕右擰)
?、鄞蜷_爐門，將模具及物料放上臺車推入烘爐內(nèi)，關(guān)閉爐門。
?、茉O(shè)定烘爐溫度，并打開烘爐“風機”及“升溫”按鈕。
?、葸_到固化時間打開爐門，將臺車推出爐門，取出固化后的物料。
?、蕻敼ぷ鹘Y(jié)束時，分別關(guān)閉“升溫”和“風機”按鈕，使加熱系統(tǒng)、鼓風系統(tǒng)停止工作。
?、咦詈箨P(guān)閉“電源開關(guān)”旋鈕，合上總閘，打開爐門，取出已烘干的物料，工作程序結(jié)束。
4、固化爐操作注意事項
①烘爐安裝場地應(yīng)平整、光滑。
?、陔娖骺刂迫藛T有專業(yè)的管理和維修;當爐箱不用時，應(yīng)切斷電源，確保安全。
?、矍形饘⒁兹家妆锲贩湃牒鏍t內(nèi)，以免發(fā)生安全事故。
以上為您介紹的是固化爐的工作原理和操作流程，希望以上知識對您有所幫助！
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